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盛美上海首台前道ArF工艺涂胶显影设备Ultra LITH顺利出机

2023/1/3 15:52:55

来源:盛美上海

近日,盛美上海首台具有自主知识产权的涂胶显影Track设备Ultra LITH成功出机,顺利向中国国内客户交付首台前道ArF工艺涂胶显影Track设备,该设备由盛美半导体设备(亚太)制造中心完成出货,这是该公司提升其在涂胶和显影领域内专业技术的重要一步。

此外,盛美上海将于2023年推出i-line型号设备,并且公司已开始着手研发KrF型号设备。前道涂胶显影Track设备Ultra LITH的出货是盛美上海持续拓展产品系列的又一成果,公司致力于成为晶圆级的工艺解决方案平台,旗下产品还包括单晶圆及槽式湿法清洗设备、电镀设备、无应力抛光设备、立式炉管设备,及PECVD设备。

深圳芯盛会

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线上产品推介会

最新活动来啦!诚邀各企业参与首届线上产品推介会!如果您的企业是泛半导体相关领域,如果您的企业有新技术、新工艺、新材料、新设备等,欢迎您点击链接填写意向表:http://act.lwc.cn/api/sbstc/uploadFile,参与“线上产品推介会”。共同为国际、国内泛半导体产业的发展推动助力!

新年展望

告别2022,迎来2023,《半导体芯科技》(SiSC)杂志特别推出—“新年展望(2023 Outlook)”邀稿,邀请半导体产学研资深专家学者等擘画未来,激励行业奋进的脚步。点击链接,立即免费投稿:http://w.lwc.cn/s/ZJZjui



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