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台积电:暂无为先进制程导入High-NA EUV必要

2025/5/29 11:34:45

据报道,日前,台积电负责业务开发及全球业务的资深副总经理兼副联席COO张晓强在公司2025年技术论坛欧洲场上表示,台积电暂无为先进制程导入High-NA EUV的必要。


其指出,台积电最新公布的1.4nm级逻辑制程A14,即便未采用High-NA EUV图案化设备,其性能提升依然显著。台积电技术团队正持续通过工艺优化,在现有基础上进一步拓展Low-NA EUV技术可覆盖的制程范围。只要该路径仍能持续推进,就没有必要在量产中采用成本高昂的ASML High-NA EUV设备。

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