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韩国东进半导体通过三星EUV光刻胶可靠性测试

2021/12/23 12:31:26

日前,东进半导体宣布,近期通过了三星电子的EUV PR(光刻胶)可靠性测试。EUV光刻工艺需要EUV光刻机和EUV光刻胶,目前这一市场也主要被日本厂商垄断,而三星与韩国半导体厂商东进合作开发成功EUV光刻胶,打破了垄断。EUV光刻胶属于比较高端的光刻胶产品,其主要应用于较为先进的芯片制造过程中,比如制造7nm以下节点的芯片。

东进半导体在其位于京畿道华城的工厂开发了EUV PR,并在三星电子华城 EUV生产线上对其进行了测试,并已通过可靠性测试。光刻胶是半导体曝光工艺中的关键材料。它应用于芯片上,当用半导体曝光设备照射光时,会发生化学反应并改变物理性质,通过用显影剂冲洗掉PR来绘制微电路,只留下必要的部分。

现状:据公开数据显示,日本JSR、东京应化、信越化学以及富士胶片占据了全球70%以上的市场份额,而在高端光刻胶领域,日企更是处于绝对垄断的地位。

不只是光刻胶产品,在芯片生产所需的19种必要的半导体材料中,日企有14种材料处于绝对的领先优势。





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