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南大光电:ArF光刻胶已通过2家客户认证,计划产能可扩至50吨

2021/11/30 13:44:38

日前,南大光电在接受调研时表示,目前,公司研发的 ArF 光刻胶已经通过两家客户的认证,分别是一家存储芯片企业和一家逻辑芯片企业。

公司也正在聚焦国内最主要的客户进行认证,每个客户都有三四款胶在做认证。光刻胶的认证一般需要一年以上的时间,经历四轮以上的送样,目前这些光刻胶的认证正在顺利推进。

南大光电还表示,公司目前已经建成两条ArF 光刻胶生产线,具备25吨的产能,同时也有进一步储备产能的计划,目前计划产能扩到 50 吨。

南大光电专注193nm光刻胶的研发和产业化,目标是打造从原材料到光刻胶成品的完整的光刻胶产业链。

在光刻胶原材料方面,南大光电具备合成单体的能力,部分单体国内已有产业化,对于一些特殊的、高技术含量的关键单体,则由公司自己设计、合成制备,可以说,制备光刻胶的单体都已经实现了本土化。

南大光电主要产品的订单基本饱和

除此之外,南大光电主要产品的订单基本饱和。MO 源苏州工厂主要通过技术革新改造来提升产能;全椒半导体工厂布局的 MO 源 2.0 项目正在顺利推进,部分产品进入客户认证阶段;

高纯 ALD/CVD 产品(前驱体)通过扩产和开发新产品满足市场需求;全椒氢类电子特气的扩产正在进行“三同时”手续办理;飞源气体含氟电子特气生产基地通过技术改造和产能扩大,已建成 3800 吨/年的三氟化氮和 3500 吨/年的六氟化硫生产线。




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