——为半导体制造提供先进ALD, Epitaxy, PECVD和炉管设备

ASM国际集团（ASM International N.V.）作为半导体工艺设备领先供应商，其产品技术包括：原子层沉积（ALD）、外延生长（Epitaxy）、增强等离子体化学气相沉积（PECVD）和立式炉（Vertical Furnace）。2021年3月18日，SEMICON China展会期间，ASM举办媒体会，向业界介绍公司一年来的业务发展和最新产品技术。

ASM中国区总经理徐来先生介绍：ASM总部位于荷兰阿尔默勒，1968年成立，已经有超过50年的历史。2019年起，ASM进入了全球前十大半导体设备厂名单。2020年，ASM总营收相比2019年增长了18%，达到13亿欧元。主要的业绩增长来源于中国的强劲增长和我们在先进逻辑制程市场的高占有率，特别是ALD领域。2020年公司总营收和中国市场营收都做到了历史最高纪录。

“ASM是全球最大、市场占有率最高的ALD设备供应商，在外延生长、PECVD和立式炉等方面也保持领先地位，公司的立身之本是独有的IP技术，并且长期与全球最先进的工厂合作，不断提升我们的技术。”徐来说，“2019年到2020年，我们员工增长11%，专利拥有数量增长7%，ASM正站在快速发展的趋势之上。”

ASM的业务中心、研发中心分布在全球七个地区。欧洲有两个研发中心，一个在比利时鲁汶，同时在芬兰赫尔辛基有一个材料实验室。ASM发家的模式是通过研究材料从而找到应用，和其他的设备供应商有些不一样。ASM的业务中心在日本、韩国有两大事业部，主要的产品是PEALD和PECVD，即增强等离子原子层沉淀和化学气相沉积。此外，ASM的炉管设计在荷兰，外延生长和热传导相关的ALD设计在美国。

“2020年，ASM在新加坡有一个工厂投入使用，这个工厂和之前的新加坡工厂相比增大了4倍，之后我们会关闭或缩小荷兰、韩国等地的工厂，集中在新加坡工厂生产。新加坡工厂在去年第四季度完工，12月份，第一台机器从这个工厂发出。”徐来说，“随着业务的增长，我们不再因为工厂的面积、生产能力而受限制。现在整个供应链来讲，主要还是受制于零部件的交期，我们供应交期的时间长短，也是根据每个月、每个季度供应链的交货情况所决定的，至少生产能力方面不会是我们的瓶颈。”

ASM为中国半导体代工厂建有强大的生产及加工平台，可处理加工涵盖低于200mm至300mm规格的晶圆，面向逻辑芯片/代工厂、存储/模拟制造与晶圆市场。

ASM的拳头产品ALD分为两类，一类和热相关，一类和等离子相关，在国内都有装机量，其中最厉害的是Pulsar，目前市场上占有率是100%。ASM的ALD产品近年都保持两位数的增长，其单晶圆ALD占全球市场份额达53%。在中国代工厂和存储器客户中，ASM的ALD地位正持续提升。

在过去一年外延是热门话题，增长迅猛，全球的外延设备厂商主要有两家，一个是应用材料，一个是ASM。ASM在厚外延上是最领先的，因为这个技术在国内打开了很大的市场，为国内客户提供了较好的选择，目前在大气压力的外延市场占有率增长很迅速。

ASM很早就开始做炉管，以前在中国市场的占有率不太好，近三年得到了很大提升。在中国过去两年装机量剧增，主要增长的是200mm（规格晶圆）的机型，ASM是目前唯一一家在200mm（规格晶圆）上还开发新机型的设备公司。

ASM在中国扎根20年，随着中国半导体产业的高速成长，ASM在中国的发展非常快，远超于ASM在其他国家，每年的增长都非常高。ASM在中国的客户也越来越多，总的客户有100多个，2020年中国的营收超过了2亿欧元，获得了很多客户的认可，并且得到了不同客户的多个奖章。ASM中国为整个中国提供技术支持和先进技术研发服务，在当地拥有相关设备并存有配件，确保随时随地快速响应客户需求。

徐来表示：“在中国20年的深耕历程让我们能够强有力支持该地区的快速发展，我们已经与中国绝大多数头部工厂长期保持良好合作关系，与本地客户共同协作以达成他们的工艺技术目标并实现量产。”

ASM的ALD设备

ASM的外延设备

ASM的立式炉