1月21日，位于珠海的英诺赛科科技有限公司（InnoScience）与ASML签署协议，订购ASML的高产能i-line和KrF光刻机，将于2021年2季度入厂，然后进行生产，而这也是在第三代半导体领域首次量产应用先进的ASML TWINSCAN(双工件台)光刻技术。用于生产氮化镓等芯片。      

英诺赛科建成并投产了全球首条200mm硅基氮化镓晶圆与功率器件量产生产线，主要产品包括200mm硅基氮化镓晶圆及30V-650V氮化镓功率器件。