近日，中科钢研节能科技有限公司（中科钢研）晶体产业化项目落户上海。

据介绍，此次签约的先进晶体产业化项目，系中科钢研与国宏华业在引进日本升华法（PVT），高温化学气相沉积法（HTCVD）及俄罗斯电阻加热升华法等国际一流碳化硅长晶工艺技术与装备的基础上，通过三年来的技术消化吸收再创新，通过工艺建模、数值模拟、设备集成、工艺试验等方面的系统性工作，在碳化硅长晶专用装备、碳化硅高纯度原料合成、碳化硅单晶生长及衬底片加工工艺方面取得了较大进展，形成了具有自主知识产权的以碳化硅单晶生长核心工艺技术为代表的完整工艺技术体系。

该工艺技术体系，覆盖了碳化硅晶体与衬底片生产的全工艺环节，保证了碳化硅衬底片产品技术指标、质量稳定性和成本可控性有很大的突出优势。

来源：SEMI中国