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更高的电阻率测量精度用于超纯水的出色表现下载白皮书





简介

一家世界领先的半导体制造商需要一种能够超越当前市面上仪器性能的电阻率传感器。梅特勒托利多 Thornton 与该制造商合作开发了一款传感器,为电阻率测量树立了新标准。

制造商严格要求提高良率,因此需要达到远远超过当前行业标准的电阻率测量稳定性和准确性水平。该制造商与梅特勒托利多合作寻找解决方案。其结果是UPW UniCond™,这是新款电阻率传感器,它在温度补偿、信号稳定性和环境干扰隔绝性能大幅优于之前用户使用的设备。基于非常成功的测试结果,制造商已接受UPW Unicond作为其新的电阻率测量解决方案,并指定其全球所有工厂在升级或设计新晶圆厂时都使用新款传感器。

要了解有关制造商执行的测试和结果的更多信息,请阅读案例研究。


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