2020/6/27 12:02:42
主题二：晶圆制造及材料技术
PerkinElmer带来化学高分辨多重四极杆ICP-MS助力半导体工业无机元素检测：NexION® 5000。
无机元素，包括过渡金属、碱金属、碱土金属、重金属以及如B, P等无机元素，会对芯片生产产生影响，包括电压击穿、高的暗电流等，同时也会影响良率。因此，对无机元素的监控非常重要，也要求越来越高，需要更低的检出能力，能够覆盖芯片生产制造中使用到的各类原料。目前，据最新的制程要求，对半导体用超纯水本底要求要求小于1ppt水平，对超纯化学品中无机元素离子的要求为10ppt水平，更有企业要求到达5ppt水平。
电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）仪器设备是分析无机元素离子的必备手段，广泛应用于工艺生产中圆片、化学品、电子特气、靶材等的无机元素杂质检测。ICP-MS 具有灵敏度高，检出能力强，分析速度快等特点，几乎可以分析元素周期表中所有元素。
PerkinElmer今年4月推出了业内首款化学高分辨多重四极杆ICP-MS——NexION 5000, 具有无与匹敌的检出能力与稳定性，利用四组四极杆平台控制消除质谱干扰的化学反应和最小化非质谱干扰，使反应精确可控，避免副反应发生，实现极低的检出能力以及出色的长时间稳定分析能力，如化学品硫酸中Ti和Zn都能轻松满足10ppt要求，同时长时间运行性能也非常优秀。
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