简介
颗粒测量是对样品中的颗粒进行计数和筛分的过程，可对空气或液体进行测量。此技术在半导体晶圆制造等 工业制程工艺中非常重要，流体的高纯度是其中的一项要求，如果存在颗粒污染物，则会导致产品报废或系 统损坏。
2026年 夏季刊
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