7月30日，又一佳绩传来，华海清科CMP国产设备在单一客户中芯国际生产晶圆突破百万片。

从2015年8月4日华海清科第一台设备进入中芯国际，与中芯国际团队密切合作，深入交流，短短半年通过验证，迅速取得了多台CMP订单。CMP工艺做到了全覆盖，包括SI，ILD，STI，BSI，W，POLY，Cu，不断刷新着国产CMP设备在中芯量产破百片、破千片、破万片，突破百万片的加速度，同时也打破了CMP设备依靠国外进口壁垒。目前，华海清科CMP设备已批量进入国内各大集成电路生产线。