2020/6/27 12:05:46
主题二：晶圆制造及材料技术
北方华创分享了金属铝的刻蚀技术。金属铝作为连线材料，广泛应用于DRAM和flash等存储器，以及0.13µm以下的逻辑产品中。金属铝刻蚀面临膜层复杂、负载效应、刻蚀后金属腐蚀等众多工艺难点和挑战。北方华创推出的NMC612G金属铝刻蚀机，具备多种均匀性工艺调节手段，可以有效优化刻蚀均匀性的分布；同时在不同产品和应用中，均能够很好的控制刻蚀形貌。NMC612G金属铝刻蚀机，在不同线宽和pitch工艺中，都能够满足刻蚀形貌的要求。通过刻蚀后去胶腔处理，可以满足72小时无金属铝腐蚀的情况。
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