2019/12/26 14:21:29
据北京商报报道：近日，北京京仪自动化装备技术有限公司成功研发出晶圆自动翻转倒片机，破解了国产晶圆自动翻转倒片机自动化难题。
晶圆自动翻转倒片机是一项难度极高的工艺，用力过猛容易导致晶圆表面破损，力度太小晶圆则会自动脱落，加之晶圆表面的高精密性，倒片机只能夹住晶圆的两边进行自动翻转，这就给自动翻转倒片机的研发带来了难题。
据FAB厂工程师介绍，倒片机主要工作就是把需要制程的产品倒进专用cassette；例如炉管需要把铁氟龙cassette内的片子倒到石英晶舟上；其它的分批、合并、翻转、平边也包括在里面。套用官方说法，该晶圆倒片机是用来调整集成电路产线上晶圆生产材料序列位置，要求该设备拥有极高的传送效率和洁净度。
目前，京仪装备研发的首台晶圆自动翻转倒片机已经在上海集成电路研发中心得到成功应用。早期型号倒片机则已经在中芯国际、长江存储等多家企业得到应用。
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