应用材料公司的SEMVision™ G7是扫描电子显微缺陷检测系统 (defect review scanning electron microscope, DR-SEM),具有高分辨率成像，以及经生产验证的、具有先进机器学习自动缺陷分类（automatic defect classification, ADC）能力。将设计数据与集成的自动缺陷分类系统相结合，能加速分析制程缺陷的根本原因，加快产能和良率提升所需的时间。

应用材料公司

Thermo Scientific™ Verios G4 XHR SEM超高分辨率扫描电镜为生产商提供了确定缺陷、找到良率损失以及工艺和产品失效根本原因所需的检测能力和灵活性。Verio G4一款扫描电镜产品，它是我们取得广泛成功及认可的双束电镜（离子束/扫描电镜）Helios家族的一员， 它能够在最宽的条件下，特别是在先进制程中使用的光束敏感性材料所需的低电压下提供最佳的性能。

赛默飞世尔科技

新一代Thermo Scientific™ Hyperion II Nanoprober 是一款基于原子力显微镜（AFM）的纳米探针量测量仪。该仪器消除了基于 SEM 纳米探测技术的真空要求和电子束/样品相互作用。Hyperion II的自动化操作和成像模式使其快速、易于使用，而其精确定位电性缺陷的能力极大地提高了后续双束束或透射电子显微镜分析的速度和效率。


赛默飞世尔科技

Thermo Scientific™ iCAP TQs感应耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）是成熟的iCAP TQ ICP-MS的半导体版本。它提供了超高纯度化学品的快速、可靠和可再生的测量方法，以支持对先进的半导体制造过程进行自动化的在线监测和统计过程控制。Thermo Scientific™ iCAP TQs ICP-MS 为所有相关化学品提供了较低的检测限，并以较少的操作和更快的速度获得测量结果。这一新系统可以将化学分析从实验室转移至工厂。还可以在线控制化学浴，从而缩短响应时间并减少污染导致的损失。

赛默飞世尔科技

CyberOptics公司新一代300mm远程尘埃颗粒传感器（Airborne Particle Sensor，APS3）技术，可通过实时无线检测，识别和监测空气中的微粒，有助于加快半导体工厂的设备设置并提高长期收益率。与传统的晶圆表面扫描法相比，已被证实可节省时间高达90%、节省成本95%，以及高达20倍的产量。APS3测量设备现在更轻薄，可轻松地穿过半导体工具。WaferSense测量产品包括自动调平系统（ALS）、自动凝视系统（AGS）、自动振动系统（AVS）、自动教学系统（ATS），APS3和新型自动多传感器（AMS），这些将根据不同尺寸晶圆提供相应货源，包括150mm，200mm和300mm。


CyberOptics公司

中微半导体设备在SEMICON China期间正式发布了第一代电感耦合等离子体刻蚀设备Primo nanova®，用于大批量生产存储芯片和逻辑芯片的前道工序。该设备采用了中微具有自主知识产权的电感耦合等离子体刻蚀技术和许多创新的功能，以帮助客户达到芯片制造工艺的关键指标，例如关键尺寸（CD）刻蚀的精准度、均匀性和重复性等。其创新的设计包括：完全对称的反应腔，超高的分子泵抽速；独特的低电容耦合线圈设计和多区细分温控静电吸盘（ESC）。凭借这些特性和其他独特功能，该设备将为7纳米、5纳米及更先进的半导体器件刻蚀应用提供比其他同类设备更好的工艺加工能力，和更低的生产成本。


中微半导体

半导体测试设备供应商爱德万测试在 Wave Scale MX 系列产品中增加了高分辨率，高精度的混合信号板卡，扩展了在模数和数模转换器系列的测试范围。新的 Wave Scale MX 高 分辨率卡结合了并行测试功能与最可靠的 AC 和 DC 性能。 这些属性使得爱德万测试 的 V93000 测试平台在测试模拟和数字波形转换器时能满足越来越苛刻的低失真，精度和线性度要求，同时还有助于降低消费音频类和 IoT 芯片的测试成本，缩短上市时间。


爱德万测试

爱德万测试研发出了 M4171 机械手，具有高效的温控解决方案，以面向在芯片的设计与量产前期准备阶段，有高功耗温控测试需求的移动电子市场。在工程实验室，目前大多数的测试都是依靠手动操作，而M4171 这一小型、单测的机械手可以自动进料和出料、控制温度并进行 分选。同时它还具有主动温度控制(ATC: Active Thermal Control) 这一通常只在大型、量产用机械手上才 有的功能。


爱德万测试